X射線熒光光譜儀的功能：

　　XRF是基于X射線的一種分析技術，當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發態，由于激發態不穩定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產生X熒光。

　　X熒光具有特征的波長，對應的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，XRF能實現對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現元素的定量和半定量分析。

　　X射線熒光光譜儀分類：

　　X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺式光譜儀。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導體探測器，如Si（Li）和高純鍺探測器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計數器或閃爍計數器為探測器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導體探測器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發X射線熒光光譜、質子激發X射線熒光光譜、放射性同位素激發X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。

　　X射線熒光光譜儀的結構：

　　1、分光系統：對來自樣品待測元素發出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；

　　2、激發系統：主要部件為X射線管，可以發出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發熒光X射線；

　　3、儀器控制和數據處理系統：處理探測器信號，給出分析結果；

　　4、探測系統：對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測。